EVS 探针卡

EVS 探针卡是传统垂直式探针卡的优化版本，具有更高的耐电流 (C.C.C.) 和更低的测试针压 (BCF)，同时拥有接近 MEMS 的特性。EVS 探针卡能轻松满足先进晶圆的测试需求。精确的对准和优异的平整度控制是确保稳定接触电阻的关键因素，凭借其出色的能力和稳定的性能，EVS 探针卡是先进测试的理想选择。

EVS 探针卡主要特点：

• 同时具备 MEMS 针种特性
• 提供平头针和尖头针两种探针形态
• 在被测物上留下更小的针测划痕
• 适用于 80μm 以上的间距
• 测试针压比传统垂直式探针低 50％
• 耐电流比传统垂直式探针高 40％
• 较长的针尖设计具有更长的使用寿命
• 可与 MPI 自制基板 (Substrate) 搭配使用