高功率元件测试 (HP)
旺矽释义
高功率分离式元件（例如功率晶体管、功率二极管、闸流体等且元件方向性为垂直／横向者）或高功率放大器的电性测量皆属高功率元件测试。
测量需求
以 500 V（高电压）以上及／或 1 A（高电流）以上之脉冲或直流电进行测量。
高功率元件的晶圆特性描述应用面临以下挑战：
- 晶圆载台至晶圆背面之接触电阻
- 高电流元件金属垫层烧坏毁损
- 在高电压及各温度条件下进行低漏电流测量
- 高电压电弧
- 薄晶圆处理
- 安全的测试环境
旺矽解決方案
旺矽高功率探针台可为高达 3 kV（三轴）／ 10 kV（同轴）及 400 A（脉冲）的应用提供准确的高功率元件测量，即使在高达 300 °C 的高温环境下依然准确。旺矽开发的镀金高功率高温载台，具备镀金表面与均匀分布的真空吸孔，可保护至薄 50 µm 的薄／翘曲晶圆，并在用户进行垂直元件导通电阻 RDS(on) 测量时提供优异的晶背接触，同时获得低接触电阻。
另一方面，多针脚高电流探针不仅可降低探针接触电阻，并可通过电流分散，减少过去单针脚探针探测时元件金属垫层容易烧毁的发生。旺矽高电压探针可承受高达 10 kV 的电流，适合低漏电元件的耐压崩溃测量。而为了抑制高电压测量中电弧的产生，旺矽亦提供可盛装 Fluorinert™ 液体的晶圆托盘或专用的抗电弧探针卡。
旺矽高功率探针台系统可与不同的测试仪器整合，如：Keithley 或 Keysight 的 SMUs，方便您在不同元件测试环境下快速完成测试环境架设。
旺矽高功率探针台提供安全机制，并已通过安规测试且获颁安全证书。
*Fluorinert 为美国 3M 公司商标